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重现精度:±0.3μm
绝对精度:±3μm
水平直线度:±1μm
垂直直线度:±1μm
俯仰:±2arc-sec
偏摆:±2arc-sec
适用于洁淨室
低速度涟波
空气轴承
非接触式空气轴承LMAS
非接触式空气轴承提供更佳的定位精度
嵌入式磁性预压设计,提升稳定性
提供极平滑的运动与快速的整定时间
无铁芯式线性马达,无磁顿力
高解析回馈搭配线性光学编码器
提供高绕性的缆线管理
适用于洁淨室 ,无需润滑好保养
低速度涟波
应用于精密定位、校验系统、扫描应用、晶圆检测、无尘环境
LMAS非接触式空气轴承直线电机平台
LMAS非接触式空气轴承直线电机平台
吴海欣(专案科):18825521040
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