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半导体
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特殊的机构设计,轻便精巧,采用直线电机降低运动的惯量,实现设备的平稳运行;非接触的结构形式满足对于无尘环境的需求;光栅补偿高精度结构满足视觉对于运动的精准性要求,提高设备生产的良率。

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