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上银汽浮双驱直线电机平台
特征

平面度±2µm 

重現性±0.5µm  

精度±1.5µm


  • 基本信息
  • 规格尺寸
  • 配置/性能参数

    空气轴承直线电机定位平台

    针对先端半导体与面板制程设备所开发之奈米空气轴承直线电机定位平台。领先同业採用新型真空预压低耗能气浮轴承、动态反作用力平衡与惯性补偿技术,可于千分之一秒内达到奈米误差内要求,大幅减少运动整定时间与元件磨耗率,提升设备生产力与可靠性。完整智能化远端系统侦测与全球客服支援提供,帮助客户大幅缩短设备开发时程,节省许多整合时间与成本,使其更聚焦本身关键制程Know-how。



    空气轴承直线电机平台LMAP系列

    低外型、XY对称的结构设计,并搭配高刚性的花岗岩基座磁性预压设计,提升其稳定性,具备优越的几何特性;采用无铁芯直线电机,无磁顿力缩短整定的时间,提供极佳的平滑运动与定位精度;横梁设计采用坚固质轻的铝合金,减少移动部的重量;龙门双驱架构并利用两组光学线性编码器进行回馈补偿,提供动态控制与误差修正;适用于洁淨室,无需润滑好保养,并提供高绕性的缆线管理。


    实际案例:

    高等级的晶圆品质管制、光罩製作 :

    晶圆表面的管制以及晶圆或玻璃面板的光罩通常需要採用空气轴承式的XY直线电机平台,以检测出极微小的缺陷或製作出高精度的光罩。

    例如电子业,晶片工业以及平面显示器业裡面都採 用这种方式。

    平面度±2µm 

    重現性±0.5µm  

    精度±1.5µm

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    更多直线电机非标定制,请联系销售经理

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    上银汽浮直线电机平台


     上银汽浮直线电机平台汽浮-1.png  上银汽浮直线电机平台

    LMAP系列产品规格





    基本型号单位AP250AP450AP650
    行程mm
    250x250450x450650x650
    马达规格-横梁轴:LMCC8     龙门轴:LMCB8x2
    Bus VoltagevUp to 325 VDC
    瞬间电流A[pk]6.0
    连续电流A[mm]2.0
    反馈系统-

    Optical Linear Encoder: Analog period 40umglass scale

    定位精度












吴海欣(专案科):18825521040

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