提供完善的直线电机方案
Product Center
重现精度:±0.2μm
绝对精度:±1μm
水平直线度:±1.5μm
垂直直线度:±1.5μm
俯仰:±5arc-sec
偏摆:±5arc-sec
奈米级超精密运动控制
低速度涟波平滑运动
直线电机平台
2奈米
最小增量控制
高刚性交叉滚子线性滑轨
高精度线性光学编码器
NPS超精密模组-纳米级
吴海欣(专案科):18825521040
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